EUV被視為晶圓製造救世主 然技術瓶頸仍難克服
- 劉傑中/綜合報導
根據Semiconductor Engineering報導,EUV微影技術被視為晶圓製造產業的「救世主」,多家業者均希望靠該技術有效突破線寬瓶頸。不過專家表示,EUV技術發展進度不一,且目前仍有無法克服的限制,包括鏡片的可替換性,以及成像品質的疑慮,雖不致於...
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