EUV被視為晶圓製造救世主 然技術瓶頸仍難克服
- 劉傑中／綜合報導
根據Semiconductor Engineering報導，EUV微影技術被視為晶圓製造產業的「救世主」，多家業者均希望靠該技術有效突破線寬瓶頸。不過專家表示，EUV技術發展進度不一，且目前仍有無法克服的限制，包括鏡片的可替換性，以及成像品質的疑慮，雖不致於...
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