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Aerotech於SEMICON展出超精密運動控制設備

Aerotech於台北國際半導體展展出SMP超精密量測平台與奈米定位設備。

積體電路讓智慧型手機等電子裝置得以運作,物聯網則為提升人類生產效率與降低成本的重要趨勢,除了摩爾定律逐漸達到物理極限外,先進封裝技術在半導體產業也在這幾年開花,包含2.5D、3DIC等。

半導體製程跨入奈米等級的世代,變成越來越大的技術瓶頸與障礙,因此,奈米定位與超精密位移技術,成為半導體產業中許多設備商均深入研究的重要技術。

美商艾羅德克有限公司(Aerotech),長期專心致力於運動控制(Motion Control)技術,以及奈米定位控制技術的開發與應用,是世界知名的高精密製程所採用運動系統的重要供應商,對於提供符合現今半導體、顯示面板產業或生物科技製程設備所需要的嚴苛技術規格與產能需求,有長久的口碑。

Aerotech本身的運動控制與多軸定位平台子系統可以達到奈米等級的動態定位精度、幾何公差與強韌的熱穩定性,並且廣泛的應用於包括晶圓平台(Wafer Stage)設計、晶圓檢查與偵測、CD-SEM、TEM、步進式微影、白光干涉、先進晶圓級封裝等製程機台上。

專注於高精密度奈米等級位移與運動控制技術的開發

於2017年台北國際半導體展中,Aerotech針對數種關鍵製程所需要的運動控制技術進行一系列的展示,於全台灣首次展出的SMP平台,其為一套超精密表面量測平台,可以搭配各式接觸式與非接觸式量測設備,除了達到奈米級精度外,其獨特的機構設計相對於直角坐標系系統而言,可以提升產能40%。

第二大主題為壓電平台,Aerotech在過去數年,已經被視為是新一代的高性能壓電產品指標廠商,在 Global Nano Positioning Systems Market分析中,Aerotech被列為是世界上四大奈米定位系統供應商之一,四大供應商總共佔據約75%市佔率。

壓電平台可以具備次奈米級的微調整能力與奈米級的重複定位精度,甚至其可以達到極高的頻寬,可應用於各種光學量測、對焦與奈米製程等。

最後,Aerotech的PlanarDLA精密中空平台產品,則為市場上同類型產品中,具備最高性能的中空平台,包含傑出的幾何精度、2D定位精度、動態直線度,以及具備高加速度等能力,已經成功解決許多半導體製程中的瓶頸,為半導體產業中不可或缺的產品。

Aerotech於2017年台北國際半導體展之攤位號碼:868,歡迎對於提升製程良率或產能之製程開發者,設備開發者,與有興趣的先進參觀。

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