Aerotech推出高荷重超精密六軸定位平台
- 鄭斐文/台北
Aerotech推出業界唯一有精度規格保證的高荷重超精密六軸定位系統;新產品HexGen HEX500-350HL具有六自由度定位,線性行程達110 mm,且角度行程達40°;最小微步進量為XYZ軸20 nm及θxθyθz角度0.2 µrad。具高荷重能力、大行程、高速度、以及次微米精度等特性的六軸定位系統,適合範圍廣泛的實驗室和工業用途。它由交流無刷無槽伺服馬達驅動,使用壽命長,且性能優異。
支柱樞軸關節的設計,可提供低摩擦力和高剛性,全面提升了六軸平台的性能。Aerotech的A3200運動控制軟體,程式編輯簡易,並可透過多使用者定義座標系統的直覺性介面和即時動態圖行化介面來控制六軸平台。模擬軟體工具提供了快速簡便的方法來確認六軸平台的移動,並模擬完整的自動化流程。使用者可從多種標準函式庫選擇其中一種,或輕鬆配置自己的六軸平台架構。
若需要在啟動或斷電時不得位移的功能,該系統可配置絕對式編碼器。底座和平台具有一個直徑150 mm的通孔,便利從底部取放工件。底座有安裝孔,可直接安裝於英制或公制光學桌。六軸平台也可以選擇為真空版本,以因應要求嚴苛的同步加速器樣品位移或光學調整、半導體製造和檢驗、或衛星感測器測試等應用。
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