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設備本土化的關鍵 – 超精密運動平台與控制系統

Aerotech於台北國際半導體展展出最新超精密運動平台與控制系統。

在半導體產業中,在多年來產官學研的努力下,許多廠商持續不斷將許多製造設備進行本土化(Localization),提升台灣半導體產業的價格競爭力,以及設計靈活度等,但對於高精度製程設備,許多台灣廠商們仍苦於難以達到半導體製程的精密度與產能需求,不論是前段製程,與後段的先進封裝等等,在台灣半導體設備本土化中,有一關鍵技術對於未來提升設備的精度效能,相信能夠扮演重要角色,也就是「超精密運動平台與控制系統」的技術。

美商艾羅德克有限公司(Aerotech),多年來專心致力於運動控制系統開發與製造,客群遍布半導體,平面顯示器,光通訊,雷射產業,以及各種研發單位,針對微米,次微米,至奈米等級定位系統進行開發與量產工作。除了移動平台的機構精度,幾何公差,動態精度規格外,專心致力於將精密量測技術與運動平台製造技術結合,以確保產品的精密度可符合半導體檢測製程,先進封裝製程,以及各種雷射製程需求。

近年來更在次系統(Sub-system)的開發上,整合氣浮軸承移動平台,花崗岩結構,以及主/被動式氣浮防震系統等等,有大量的實績,實際上協助海內外終端客戶專心於製程開發,而運動機構與控制系統得以取得完整解決方案。

本次台北國際半導體展,Aerotech攤位號碼為四樓N0380,展出氣浮軸承運動平台,光通訊Automation1控制系統,六自由度史都華平台,超精密壓電奈米移動平台,以及廣泛應用於半導體產業的PlanarDL XY平台,艾羅德克公司表示,台灣設備業者的本土化瓶頸,在多年的努力後,仍時常遇到機台設備不容易達到精度需求的議題,但這即是可以借助超精密運動系統可以協助克服的關鍵之一,若有設備精密度與高精度運動平台的應用問題,也歡迎至半導體展會場與艾羅德克公司討論,並參觀最先進的運動技術發展。


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