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Aerotech於台北國際半導體展展出奈米級壓電平台

  • 鄭斐文
Aerotech於台北國際半導體展展出一系列運動控制產品。

隨著半導體產業對於特徵尺寸微縮化的需求持續增加,製程設備與相關的零組件,必須要具備奈米等級性能的需求,就持續成為設備商開發的方向。

在精密設備中,奈米微致動器,奈米微調整,以及奈米級精密度,是運動控制產業中難度最高,但也最有機會解決製程問題的一項課題。如何達到奈米等級精度,並且可以反覆持續維持此奈米等級精密度,同時維持奈米尺度的穩定性都會是需要達到的技術重點。

另一方面,先進封裝製程的開發,對於半導體廠與封測廠均是開發的重點,尤其為了滿足新一代電子產品的輕、薄設計要求,透過關鍵製程的高度整合,依靠奈米等級的位移控制的機台與機構設計,大幅提升製程設備業者的表現,美商艾羅德克有限公司在半導體展中,就會展出這類型的奈米定位、奈米微步進,以及奈米級精密度的運動控制平台,與壓電平台等。

美商艾羅德克(Aerotech),長期專心致力於運動控制(Motion Control)技術,以及多軸定位控制技術(Multi-Axis Positioning)的開發與應用,是世界知名的高精密製程所採用運動系統的重要供應商。

對於提供符合現今半導體、顯示面板產業或生物科技製程設備所需要的嚴苛技術規格與產能需求,有長久的口碑,Aerotech本身的運動控制與多軸定位平台子系統可以達到奈米等級的動態定位精度、幾何公差與強韌的熱穩定性,並且廣泛的應用於包括晶圓平台(Wafer Stage)設計、晶圓檢查與偵測、CD-SEM、TEM、步進式微影、白光干涉、先進晶圓級封裝等製程機台上。

專注於高精密度奈米等級位移與運動控制技術的開發

於2018年台北國際半導體展中,Aerotech針對數種關鍵製程所需要的運動控制技術進行一系列的展示,展出主題包含:超精密氣浮軸承定位平台,壓電奈米定位平台,以及12吋晶圓用之超精密 PlanarDL XY平台。

Aerotech的QNP系列壓電定位平台擁有次奈米級解析度,體積輕巧,最佳的剛性及諧震頻率,在需要高效能及體積受限的應用,像是高階干涉儀,精密顯微鏡還有高精度定位,提供最佳的解決方案。

Aerotech於本屆台北國際半導體展之攤位號碼為#N869,歡迎對於提升製程良率或產能之製程開發者,設備開發者,與對Aerotech有興趣的先進前往攤位參觀。