無塵室進出程序繁瑣 遠端數據監控提升人機比率
- 劉尚昀
半導體產業十分講究精密準確，生產過程須在無塵環境，同時進出無塵室要穿著規定的服裝，整個過程非常耗時且繁瑣，一旦機台發生狀況，許多問題常可透過遠端監控排除，即可迎刃而解，但在機台無法遠端連線遙控時，設備耗費工程師即需要花費許多時間進出處理。
宏...
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