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範圍 : 專家講堂-2025-5-14
 
林育中
中國曝光機發展現況：EUV
2025/5/14 上午 02:44:36
中國工信部宣布DUV訊息的同時，上海微電子也發布其2023年申請的EUV專利、2024年9月專利申請公開的消息。
 
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