5奈米製程以下的最先進製程藍圖，由於晶圓代工業者在產品組合當中增加了半節點製程選項，包括6奈米和4奈米，轉進到這些製程節點不僅成本非常高昂，相對效益也並非明確可期。
台積電兩種版本5奈米製程均導入EUV技術 三星搶先3奈米製程開發定案
台積電與三星將FinFET延伸到5奈米 3奈米以下勢將轉進新架構
一顆7奈米SoC設計成本達數億美元 晶圓代工業者紛退出最先進製程競逐
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