台積電、英特爾與三星電子均已入手ASML力拱的high-NA EUV,但在實際應用裡,似乎對其打退堂鼓。台積電高層更提及A16和A14製程技術,都不會採用high-NA EUV曝光機。
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台積電暫緩High NA EUV量產 ASML罕開實驗室推銷
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