DIGITIMES - 議題精選：中國曝光機供應鏈大解密

中國曝光機供應鏈大解密

美國出口管制持續升級下，中國微影設備加速突圍。近兩年來中國曝光機、光學、光源及關鍵零組件等不斷浮現新進展，牽動地緣政治與中國自有體系設備技術突破、供應鏈布局與AI晶片量產。

中國DUV微影設備跨出關鍵一步　仍難撼動HBM版圖？

2026/7/31

中國傳開始量產自研浸潤式深紫外光（DUV）微影設備，引發全球半導體市場震盪。南韓三星電子（Samsung Electronics）、SK海力士（SK

華為練秋湖、張江臨港雙引擎　上海曝光機重鎮版圖擴張

2026/7/31

中國曝光機近期因自主浸潤式DUV設備傳出量產，再度成為全球半導體產業焦點。從上海微電子（SMEE）、宇量昇、芯上微裝，到近期浮上檯面的上海愛晟納電子科技集團，再加上華為練秋湖研發中心、張江科學城、臨港新片區及自貿區等資源串聯，上海這個中國一線大城正逐漸形成中國曝...

上海愛晟納串起曝光機版圖　人民幣70億資本背後暗藏何玄機？

2026/7/30

中國自主曝光機再傳突破，市場焦點除了落在浸潤式DUV曝光機進入小量生產，更引發外界矚目的是，一家成立不到3年的新企業上海愛晟納電子科技集團（Shanghai Aishengna Electronic Technology Group Co., Ltd.

上海愛晟納DUV量產有操盤手？　傳「國務院級」專家親參主導

2026/7/30

中國曝光設備自主化近期傳出新進展。上海愛晟納電子科技集團研發的28奈米浸潤式深紫外光（DUV）曝光機，已完成首批5台設備交付，顯示中國自主曝光設備發展正逐步從技術研發，邁向晶圓廠量產驗證階段。不過，曝

ASML短期難被中國DUV撼動　美國Match法案才是真死穴

2026/7/30

儘管西方對於中國晶片製造設備可能取得突破的疑慮增加，但產業分析指出，中國國產半導體製造設備並非全球半導體製造設備龍頭ASML面臨的最大威脅。據南華早報及Wccftech報導，近日The

深度：從DUV到Kimi K3　2026年是中國科技成果收穫年？

2026/7/29

如果只看2026年夏天的新聞，容易產生一種印象，短短數週內接連有科技產業的重要消息。中國自主DUV曝光設備邁向量產；中國科學技術獎一等獎頒給曝光機的核心研發機構長春光機所；長征系列可重複使用火箭完成關鍵回收；宇樹科技（Unitree）創辦人王興興登上《TIME》封...

中國傳開始量產DUV　ASML迎中國國產替代長線挑戰

2026/7/28

據知情人士透露，一家獲中國政府支持、總部位於上海的公司，已首次開始製造浸潤式深紫外光（DUV）微影設備，計劃2026年生產約5台DUV、2027年目標約20台，並預計2026年交付給中芯國際、華虹半導體及長鑫存

沒有EUV的中國　如何在半導體彎道超車？

2026/7/21

在美國持續收緊對中國先進半導體設備出口管制下，外界關注中國能否透過成熟製程、先進封裝等方式，縮短與全球先進製程的技術差距。對此，蔡司認為，先進封裝確實能提升晶片整體效能，但無法完全取代極紫外光（EUV）微影帶來的製程優勢。若缺乏EUV，只能依賴更複雜的多重曝光（...

華為麒麟9030拆解揭中芯7奈米近況　能效仍落後國際大廠

2026/7/21

據拆解報告顯示，華為新一代旗艦處理器麒麟9030（Kirin 9030）採中芯國際7奈米N+3製程技術，相關量測結果顯示中芯在無法取得極紫外光（EUV）微影設備的情況下，透過多重曝光（Multi-patterning）、設計與製

美國MATCH法案斷中國DUV供應　全球晶片缺貨恐加劇

2026/4/8

受美國國會近期提案影響，ASML的營運前景再度成為市場焦點。美國國會兩黨議員於上週提出《硬體技術控制多邊協調法案》（Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware Act；MATCH），意

美國兩黨擬祭MATCH法案封殺中國銷售維修服務　ASML與中芯等中系業者首當其衝

2026/4/7

美國晶片禁令擬再度升級。近期美國兩黨議員共同提出《硬體技術控制多邊協調法案》（Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware Act；MATCH），旨在加強對中國半導體設備出口限制。此法

消音的新凱來？　SEMICON China中國本土設備廠頻出招

2026/3/26

SEMICON China

華虹傳突破7奈米先進製程　旗下華力微2026年底前首批試產

2026/3/16

據知情人士透露，中國華虹集團已開發出可用於生產AI晶片的先進晶片製造技術，標誌著中國在提升技術自給自足努力中的重大里程碑。知情人士稱，該集團旗下晶圓代工業務華力微電子正對其上海廠的7奈米製程做準備

中國本土曝光機分工體系再分流　芯上微裝承接上海微電子資產

2026/1/13

中國本土曝光機產業鏈近期再現一樁受矚目企業與資產重整。中國曝光機主要研發業者上海微電子裝備（集團）股份有限公司，完成旗下上海威耀實業有限公司的股權轉移，全面退出持股，改由同屬曝光機設備體系的上海芯

上海微電子奪下曝光機標案　ASML優勢仍難撼動

2025/12/26

近期一則中國政府採購網公示揭露上海微電子設備（SMEE）中標一台步進式掃描曝光機，成交金額約人民幣1.09億元，招標方則是中國科技部，引發市場對中國曝光設備自主化進程的高度關注。顯示中國正在成熟與特色製

芯上微裝發布新產品　望加速中國降低對ASML依賴

2025/10/21

中國半導體產業近年在官方和業界的積極推動下，正尋求降低對外依賴和提升自給能力。近期，上海微電子旗下子公司上海芯上微裝科技股份有限公司（簡稱芯上微裝）發表了包括半導體曝光機、雷射退火系統、先進檢測工具和封裝及晶圓鍵合解決方案等各類製程技術及產品，被視為有望助中國半導體業...