台灣美光1γ製程EUV熱身 研發走廊打造量產捷徑 
- 韓青秀／台北
美光(Micron)中科廠在2022年底量產1β節點製程之際，A3廠也將於下半年正式導入第一台極紫外光曝光設備(EUV)入廠，為2024年推向1γ的EUV量產準備。
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