半導體製程存在量測誤差 恐令晶片製造商蒙受鉅額損失
- 蘇純儀／綜合報導
近來有研究發現，今日半導體業製程中所採用的氣體流量測量方法當中出現的誤差會使良率下降，可能會導致晶片製造商在單次製程當中損失高達百萬美元以上，且隨著半導體設計日益複雜、製程持續微縮，這個問題恐怕會越來越嚴重。
據Machine Desig...
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