SiC應用需求倍增 刺激量測、檢測工具創新
- 涂翠珊／綜合報導
透過量測、檢測工具找出缺陷一直是碳化矽(SiC)生產過程中的重要步驟，但隨著電動車等應用對SiC裝置需求倍增，對於量測、檢測的要求也進一步提升。設備業者已意識到這股需求，並開始針對偵測工具提出許多創新。
據Semiconductor En...
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