追逐新世代先進製程 日設備廠研發費攀升
- 江仁傑／綜合報導
日本五家主要的半導體設備製造商，包括東京威力科創(TEL)、Screen、Disco、愛德萬測試(Advantest)、尼康(Nikon)精密機械事業在內，2022年3月底前的年度研發費合計，約2,765億日圓(25億美元)，年增13.2%，主要用於更精細的製程技術...
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