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台積電降EUV碳排成綠電總司令 傳綠氫產業鏈將現蹤?

  • 黃女瑛台北

半導體代工廠台積電對其供應商設立到2030年節能目標,使台灣綠電大隊整軍待發,其中市場也同步傳出,晶圓代工高階製程中的光蝕刻製程(EUV)因為耗氫量大、產生不少二氧...

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