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晶圓代工製程微縮

晶圓代工製程一開始皆依循每個世代線寬縮減約0.7倍、即電晶體數目增加1倍的規則,從1微米(μm) 、0.7微米、0.50微米、0.35微米、0.25微米、0.18微米、0.13微米,到90奈米、65奈米、45奈米、32奈米、22奈米…。
 
但其中,到0.18微米之前,晶圓代工後段製程(Back End Of Line;BEOL)金屬拉線(Connection)皆為鋁銅(AlCu)製程,從0.13微米起,為了克服時間延遲(Time Delay)問題,BEOL必須從鋁銅改成銅(Cu)製程,但當時(2000年左右)銅製程有一些困難性,所以台積電除努力開發0.13微米銅製程外,同時將0.18微米微縮了85%,衍生出一個非業界標準的半世代製程0.15微米,提供客戶更多選擇。
 
這個策略果然成功,因各公司都延遲了很長的時間才跨入0.13微米製程,其間的空窗期,台積電靠0.15微米的生產讓荷包進帳不少,也因此把聯電遠遠拋在後面。從那之後,台積電便開始採用半世代製程,讓客戶與本身都可有最大收益。

只是到32 /28奈米階段,因研發資源考量、客戶時效上的需求及欲拉大與競爭對手差距,台積電直接進入28奈米,32奈米僅依少數客戶需求製造,如此一來,相較於其他晶圓代工廠使用32奈米製程較為有利。