Hitachi Regulus 8220是新一代的冷場發SEM，具有最佳的空間解析度與最小的能量發散，是分析先進製程IC失效／異常的最佳利器。
Hitachi Regulus 8220 SEM low KV VC在不同CT的影像對比可以清楚地呈現出來；Regulus 8220可以輕易地解析失效／異常位置，並具有比前一代型號較佳對比與空間解析度；且配備BSE感測器的Regulus 8220可以輕易觀察到下層失效／異常結構。
