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掌握關鍵技術優勢 奇鼎科技國際半導體大展亮點

  • 劉中興

掌握關鍵技術優勢 奇鼎科技國際半導體大展亮點

身為台灣首屈一指潔淨空調專家,奇鼎十餘年來在高精度環境監測與控制領域已累積多年技術經驗,為符合各個高階製程不同的環境控制需求,在今年半導體大展特別展出三大主軸:

一、獨家專利的有機氣體即時線上分析檢測系統(Inline AMC Monitoring),為遠端氣體取樣形成的整合產品,連結多點、分析、遠端整合的監測趨勢,以無人自動化實驗室等級的精細度來執行製程環境監控的標準。

二、另一展出重點為高精製程環境控制TAU(曝光機鏡組霧化防護機組),藉由業界最精密溫溼度控制及空氣淨化的掌握,提供半導體曝光機黃光製程段最強環控後盾,有效阻止化學污染物腐蝕,防止曝光機鏡面霧化且延長化學濾網壽命,提升產品良率,目前也是台灣溫控設備搭配AMC去除技術的首創業者。

三、最後亮相登場的為SRU有機溶劑回收設備,能夠將半導體Coating 製程中所浪費的有機氣體回收,並擷取有效之光阻劑,不僅大幅降低新液使用量即時監控系統及實用的管路設計,回收率還可達到60%。

奇鼎科技所提出的全方位系統方案,從環境的溫濕度、化學微汙染物的控制去除,乃至於實驗室分析等級的有機氣體即時線上分析檢測,可線上監控廠房設施及生產環境的情況,藉此作為品質控管的大數據。

目前合作夥伴觸角已經遍及全球,不僅在大陸設立據點,更躍身成為各國際大廠合格供應商,包含美國最大半導體A廠,以及德國S廠,在眾多競爭激烈的廠家中脫穎而出,奮力突破海內外技術的困境與匱乏,成為一流的高精密控制整合頂尖製程設備商。