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Levitronix提供無軸承磁懸浮馬達技術

  • 吳冠儀

Levitronix提供專業無軸承磁懸浮馬達技術。

瑞士商力威磁浮技術有限公司台灣分公司(Levitronix)提供專業無軸承磁懸浮馬達技術,特別應用於半導體、生命科學及一般工業所需的超潔淨度流體輸送。所使用的專利技術將馬達和無軸承磁懸浮系統整合於單一元件內,並且提供高可靠度、延長平均壽命,在最嚴苛條件下的流體輸送中的工作能力。

Levitronix了解高科技產業如半導體、太陽能與平面顯示器廠必需擁有可靠且安全的設備和零件、持續不間斷供應潔淨且穩定的流體至各種製程設備中,在此條件下是沒有任何妥協的可能,避免不必要的停機跟保養是Levitronix所追求的目標。

而Levitronix所設計的高度可靠、精確、潔淨的流體輸送泵、攪拌泵、流量計、流量控制器等相關產品,將與專業具豐富產業知識的員工相結合,可確保提供客戶無可替代的製程設備和保持工廠全天候運行。

輸送研磨液的過程中由若使用隔膜泵或各種其他氣動泵將產生剪應力,剪應力的產生將進而導致研磨液體中的顆粒聚集,而Levitronix所設計的流體輸送泵相較與其他的最先進泵將產生更少的顆粒,因此有助於減少晶圓上的顆粒汙染或殘留,並由於具有高度精確和穩定流量和壓力控制能力,因此Levitronix流體輸送泵系統可以作為線上即時混合的動態流量控制器。

在超純水的環境下所要求的品質是由其潔淨度和汙染物決定,因為其潔淨度對於清洗製程的過程非常關鍵並且與生產良率有直接相關。Levitronix泵系統比其他最先進的泵將產生更少的顆粒,因此有助於減少晶圓上的微小顆粒殘留,此外Levitronix泵可以搭配流量計或壓力計使用,將其訊號回饋並作為閉迴路控制且提供高精確的流量控制或是穩壓能力。

除了上述特別提到的應用之外,還有許多其他要求嚴格的半導體/微電子製程如:化學品供應、批次式晶圓清洗、CMP製程後清洗、浸潤式光刻機流體輸送、光阻液輸送、顯影液輸送等,以上這些應用的共同點是需求極高潔淨度、極低顆粒數產生、穩定的壓力和流量需求或是低剪應力以利輸送各種在半導體所需的液體或是化學品,選擇使用Levitronix的產品將大幅提升良率,降低成本。

SEMICON Taiwan 9月5日至7日期間,歡迎至南港展覽館,攤位號碼N192蒞臨參觀。



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