亞泰半導體揭化學研磨液供應系統嶄新一頁

2019 SEMICON CHINA亞泰半導體攜手蘇州元芯泰展開整合綜效。

2019 SEMICON CHINA作為國際半導體展會年度最大盛事，於3月20日在上海揭幕。本屆大會開幕主題演講接棒1月SEMICON KOREA關注之資料蒐集、演算法及運算能力的應用與願景。除此之外，以5G的實現及AI核心技術發展為目標，驅動中國大陸地區的智能新發展，也是本屆重要主軸。

為儘快實現集成電路的需求和成長，圍繞著許多實現先進半導體製程及應用的方法，包括奈米製程、智慧製造、綠色廠務科技等，縱貫製程到廠務的全面主題皆有舉辦專業技術論壇。

隨著半導體晶圓製程持續進化，SEMICON大會的技術論壇主題，不單著重製程技術精進，更是琢磨廠務的重要性，將兩者環環相扣為求更卓越發展。以平坦化製程為例，該製程所使用的研磨液(Slurry)組成內容將隨著奈米製程發展而更多元，並加入微／奈米等級研磨粉體，藉此強化平坦製程與奈米製程結合的同步性。

因此，廠務系統中負責攪拌及輸送化學研磨液的管線架構及功能機台，扮演著串聯先進製程研磨液與機械平坦化製程(Chemical-Mechanical Polishing；CMP)之間的重要橋梁，顯示化學研磨液混料傳輸系統(Slurry Dispensing and Delivery System；SDS)精準提供功能的重要性。

亞泰半導體設備呼應此價值，提出皆以零死角、最適化流道及密封方式設計，完全符合研磨液特性使用的獨家方案；從化液輸送管路設計、分流閥箱／化液分流盤(Valve Manifold Box；VMB)、多流向閥件(Plug Valve)、液體脈波吸收組件(Damper)及化液多向抽取接頭 (Dip Tube) 等完整囊括系統必須及加值之功能。為符合新一代廠務管理的願景，提出更多智慧控管方法，達到兼顧品質監控、符合Minimal Fab願景之小型化系統及安全運轉管理方案。

二十餘年來，亞泰半導體發展全面整合的方案提供(Turnkey) ，實績跨許多國家，為服務半導體發展卓越的客戶。為了貼近大陸地區的服務，深耕大中華地區十餘年，並於2018年底成立元芯泰半導體科技蘇州有限公司，攜手高科技廠房系統工程專家的江蘇元和建設工程公司，落實跨領域廠務工程與設施設備的完整服務。藉此創造更多加成綜效，以提供更符合半導體先進製程的供應系統。更完整的服務架構及技術進展，盡在上海國際半導體展中呈現，亞泰半導體設備展出於N1展館台灣專區1239攤位。