汎銓高階Hitachi Regulus 8220 SEM開始上線服務
- 鄭斐文/台北
Hitachi Regulus 8220為新一代的冷場發SEM,具有最佳的空間解析度與最小的能量發散,是分析先進製程IC失效/異常的利器。Hitachi Regulus 8220 SEM在不同CT的影像對比可以更清楚地呈現;且具有比之前型號較佳對比與空間解析度的Regulus 8220可以輕易地解析失效/異常位置。配備BSE感測器的Regulus 8220可以輕易觀察到下層失效/異常結構。
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Hitachi Regulus 8220為新一代的冷場發SEM,具有最佳的空間解析度與最小的能量發散,是分析先進製程IC失效/異常的利器。Hitachi Regulus 8220 SEM在不同CT的影像對比可以更清楚地呈現;且具有比之前型號較佳對比與空間解析度的Regulus 8220可以輕易地解析失效/異常位置。配備BSE感測器的Regulus 8220可以輕易觀察到下層失效/異常結構。