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亞泰半導體揭化學研磨液供應系統嶄新一頁

  • 台北訊

2019 SEMICON CHINA亞泰半導體攜手蘇州元芯泰展開整合綜效。

2019 SEMICON CHINA作為國際半導體展會年度最大盛事,於3月20日在上海揭幕。本屆大會開幕主題演講接棒1月SEMICON KOREA關注之資料蒐集、演算法及運算能力的應用與願景。除此之外,以5G的實現及AI核心技術發展為目標,驅動中國大陸地區的智能新發展,也是本屆重要主軸。

為儘快實現集成電路的需求和成長,圍繞著許多實現先進半導體製程及應用的方法,包括奈米製程、智慧製造、綠色廠務科技等,縱貫製程到廠務的全面主題皆有舉辦專業技術論壇。

隨著半導體晶圓製程持續進化,SEMICON大會的技術論壇主題,不單著重製程技術精進,更是琢磨廠務的重要性,將兩者環環相扣為求更卓越發展。以平坦化製程為例,該製程所使用的研磨液(Slurry)組成內容將隨著奈米製程發展而更多元,並加入微/奈米等級研磨粉體,藉此強化平坦製程與奈米製程結合的同步性。

因此,廠務系統中負責攪拌及輸送化學研磨液的管線架構及功能機台,扮演著串聯先進製程研磨液與機械平坦化製程(Chemical-Mechanical Polishing;CMP)之間的重要橋梁,顯示化學研磨液混料傳輸系統(Slurry Dispensing and Delivery System;SDS)精準提供功能的重要性。

亞泰半導體設備呼應此價值,提出皆以零死角、最適化流道及密封方式設計,完全符合研磨液特性使用的獨家方案;從化液輸送管路設計、分流閥箱/化液分流盤(Valve Manifold Box;VMB)、多流向閥件(Plug Valve)、液體脈波吸收組件(Damper)及化液多向抽取接頭 (Dip Tube) 等完整囊括系統必須及加值之功能。為符合新一代廠務管理的願景,提出更多智慧控管方法,達到兼顧品質監控、符合Minimal Fab願景之小型化系統及安全運轉管理方案。

二十餘年來,亞泰半導體發展全面整合的方案提供(Turnkey) ,實績跨許多國家,為服務半導體發展卓越的客戶。為了貼近大陸地區的服務,深耕大中華地區十餘年,並於2018年底成立元芯泰半導體科技蘇州有限公司,攜手高科技廠房系統工程專家的江蘇元和建設工程公司,落實跨領域廠務工程與設施設備的完整服務。藉此創造更多加成綜效,以提供更符合半導體先進製程的供應系統。更完整的服務架構及技術進展,盡在上海國際半導體展中呈現,亞泰半導體設備展出於N1展館台灣專區1239攤位。