「十年磨一劍」家登看好EUV光罩傳送盒需求大爆發

半導體製程邁入後摩爾定律時代，推進突破奈米光刻限制是晶圓製造與先進設備與耗材供應商共同面臨的一大難題。如何跨越光刻限制，提升良率進而降低成本，愈來愈多晶圓廠需要跨越技術與成本兩大難題，隨著EUV世代到來，EUV製程關鍵零元件供應鏈全面動起來，家登在EUV新一代極紫外光(EUV)光罩傳送盒研發可謂「十年磨一劍」，終於在2018年底利劍「出鞘」開始批量供應一線晶圓廠採用。展望2019年，更受惠於EUV光罩傳送盒跳躍式出貨，營收可望大幅增長。

隨著本地晶圓廠持續擴大12吋產能，加上廠房工業4.0標準與生產自動化，配合加速推進14/16奈米製程技術，作為晶圓製造設備供應商與傳載解決方案供應商，家登董事長邱銘乾親率團隊參展SEMICON China2019，並接受DIGITIMES 專訪。

他認為，儘管中美貿易不確定因素影響，但對於7奈米以下晶圓製造與EUV光罩傳送系統的需求仍強勁，家登憑藉著早期與晶圓廠協同開發深具研發優勢，對於本地晶圓廠跨入先進存儲與晶圓代工領域製造更能提供先發的優勢。

EUV晶圓載具訂單能見度高 看好7奈米以下晶片製造需求

家登新一代極紫外光(EUV)光罩傳送盒G/GP Type日前已正式獲半導體設備商ASML認證，加速進入EUV微影技術先進製程，將在2019全年扮演營運推升作用。

據瞭解，擁有EUV光刻機的晶圓廠已經陸續完成家登EUV光罩傳送盒的廠內測試，動作快的晶圓廠甚至已經下小批量訂單給家登，以致讓家登2018年底營運「小爆發」，經過逾9年醞釀投入研發EUV晶圓與光罩載具後，家登此一秘密武器「利劍」終於出鞘。

邱銘乾表示，事實上，家登投入EUV傳載載具研發已超過9年，初期EUV專案與450mm晶圓專案是處於同期開發階段，如今EUV傳載載具「十年磨一劍」終有所成，儘管2018年前3季家登營運仍處於虧損，但是受惠於晶圓大廠下單，使去年底營運徹底翻轉，全年可能有盈餘，且預估這訂單力道應該會持續下去。

據供應鏈消息指出，由於各家高階手機仍持續推出新機，又需要高速運算的AI及繪圖晶片需求強勁，大客戶對於7奈米以下的先進製程的需求，都將推升EUV晶圓代工的產能需求，連帶也拉動EUV產線最精密的核心零組件供應商產能。

本地晶圓廠崛起 看好記憶體龐大內需

台灣地區晶圓製造設備與耗材供應商逐漸打入大陸本地供應鏈，借由在地化服務與性價比優勢，加上自主研發，愈來愈獲晶圓廠青睞。尤其本地晶圓廠持續擴大12吋產能，加上廠房工業4.0標準與生產自動化，配合加速推進14/16奈米製程技術，像家登這樣專注透入精密製程研發的供應商更頗受青睞。

邱銘乾表示，近期晶圓廠生產SOP嚴謹度更為外界所重視，尤其在防污染、防缺陷等製程要求上更趨嚴格，而家登的主要優勢一是集最精英的研發團隊服務客戶，其次靈活性與創新性上比起同業能更高效快速符應客戶需求，這也是家登之所以能在客戶嚴苛的成本條件要求下能達到所謂「服務創新」供應商大獎的肯定。

放眼目前中國大陸主要晶圓廠，包括中芯國際處於14奈米關鍵風險量產階段，華力微也將從28奈米轉進14奈米，青島芯恩半導體也預計二期鎖定14奈米以下製程製造；在記憶體領域，長江存儲推進武漢、成都與南京基地，合肥睿力以19奈米為主，10+奈米將會是今年大陸晶圓廠主攻的製程，家登也已全力備妥提供客制化的解決方案。同時，也看好本地晶圓大廠對於EUV傳載需求的已開始初期萌發。

不過，邱銘乾也提到，受到中美貿易戰風雲詭譎，將對整體半導體產業埋下不確定因素，同時，很可能也讓本地晶圓廠無法再像過去享受過多的「補貼紅利」，這是可能負面影響之一；然而，他分析道，不能輕忽本地晶圓廠在國家政策下提高大陸本土晶片比例與自主研發的決心，因應中國大陸大數據中心與伺服器的設置，半導體在內需市場絕對有龐大的需求。

EUV 7奈米傳載研發有成 布局利基產品開拓新藍海

回顧每年家登平均投入營收10%以上費用投資於研發，在7奈米以下的EUV傳載載具的研發超過9年，邱銘乾也透露，下一階段家登已經鎖定幾個利基型商品開發，除了為原本已開發完成的產品找到新應用之外，更進一步透過創新手法與客戶「Co-Creation」， 積極創造產品新價值「Value-Added」，以帶領家登邁向藍海新市場。

從早期研究就與晶圓廠客戶緊密合作，家登一直秉持敢於投資研發「專注本業」的初心，邱銘乾說，如果不是一步一腳印踏踏實實敢於投資研發，也不會有今日EUV傳載盒能實現「從零到有」、「從0到1」的過程，而這正是當前許多本地晶圓廠面臨的核心議題，蓋廠或許可以靠砸大錢投資，但要營運起一座晶圓廠要靠團隊緊密配合，需要有號召力領袖人物帶領一批凝聚力強的團隊，肯於啃技術“硬骨頭”累積硬底子，與管理的執行力及品質嚴格控管，必須改變浮躁風氣沉下心來，因為一座成功運營的晶圓廠絕對非單靠砸錢與挖角人才就能成功。

半導體總和了資本戰、技術戰、人才戰，結合了以上這些優勢還要夠「專注」，因為「專注」才能「專業」，邱銘乾觀察對於中國大陸晶圓廠來說結合一流的人才除了「夠聰明」也要「夠專注」才能做出世界一流的晶圓製造。