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鈺祥AMC濾網助力客戶提升5奈米製程良率

  • 張丹鳳/台北

鈺祥企業創新先進技術提供之空氣微污染解決方案,成就半導體良率穩定提升。

隨著5奈米製程量產在即,晶圓製造商須以更嚴苛的標準掌控製程環境,才有可能達成預定的良率目標。要提高良率數值,首要控管的項目非AMC氣體性分子污染物不可。AMC包含的酸、鹼與有機揮發物等氣體,對半導體良率的影響日趨顯著。為達成嚴格的製程條件下,需要注意廠房裡外的空調系統設計,因此,不論是安裝在廠房頂部的外氣空調箱(MAU)或是無塵室風扇過濾機組(FFU)的濾網都必須有優異吸附效能的特性,才能協助客戶克服AMC對良率的影響,加速量產時程。

強調擁有自有品牌、自主的製造產線與客戶一致的專業檢測設備的鈺祥企業,是亞洲最大的微污染氣體濾網製造商,該公司的濾網產品已獲得全球領先晶圓代工廠多年的採用,並有應用於7奈米製程的實績案例。

總經理莊士杰表示,隨著製程持續微縮,晶圓製造對於污染物控制的要求當然會越來越高。以28奈米製程為例,濾網約為每年更換即可,但到7奈米,由於無塵室對污染物的允許值變低,更換頻率已遽增25倍,才能相對符合更高製程的要求。

影響濾網耗材更換率提高的主要原因是氣體過濾性的除污方式要求變高,有機揮發物的過濾採用物理吸附方式,容易被高分子量、高沸點的分子置換出來,而產生釋出效應,這時濾網就會被視為已經失效,必須替換,過去在7奈米製程面臨FFU的控管下,耗費相當可觀的成本與人力。

相較於同業的競爭產品,鈺祥的濾網除了壽命提升14倍之外,再加上採用無框體設計,以最少的框材與設計把成本降至最低。另一方面,傳統的三合一濾網,把除酸、除鹼、除有機物的濾網黏合在一個框體,即使是單一種材料耗損也需要全面替換,造成不必要的浪費。鈺祥開發的堆疊式濾網,可依需求彈性地疊加與抽換單一濾網,更具成本效益。

「要在5奈米製程控制嚴苛的ppb級有機揮發污染物,目前看來,濾網材料沿用既有配方的情況下,頻繁更換濾網是最可行,也是業界能夠接受的解決方案。對晶圓製造商來說,為了達成良率目標,勢必得大幅增加濾網的使用量,這使市場競爭已成為一種軍備競賽。而鈺祥將致力於扮演堅實的後備支援,即時提供濾網解決方案。」

莊士杰總經理強調,鈺祥憑藉著優異的濾網效能與成本優勢,從主要客戶的2nd source供應商升級,且取代外商的產品,並獲得其客戶多年的信賴與採用。公司的營運規模如今,不僅是晶圓代工產業,也廣泛應用在DRAM與面板等產業。

以某DRAM製造商為例,曾經發生某產線的良率一直無法妥善控制,但另一條採用鈺祥濾網的產線卻沒有此一問題。後來,確認鈺祥濾網的獨特配方可有效過濾硫化物改善良率,但另一條產線採用的外商濾網卻無法提供此效能。經此事件,充分證明鈺祥的產品優於同業,而且能協助客戶解決突發狀況,因而獲得此DRAM業者的全面採用。

隨著製程要求的日益嚴苛,鈺祥企業本著重視產品品質與服務,持續協助客戶滿足製程需求並精進產品,提供更完善的解決方案。從原本的MAU擴展到FFU及設備端的應用。目前產品已經就緒並進行高規格驗證中,將以高階製程特別是5奈米廠為主要目標,2020年起全力推動此一新業務。