汎銓科技挾技術優勢搶攻中國大陸商機

汎銓科技董事長柳紀綸(中)技術長陳榮欽博士(右)營運長廖永順(左)指出，該公司在MA領域的技術，將是打造半導體基礎工業的重要環節。(照片／汎銓科技提供)

產業環境變化快速，2018年啟動的中美貿易戰，造成全球製造業版圖大搬移，2020年初開始的COVID-19疫情，讓供應鏈再次斷裂，汎銓科技董事長柳紀綸指出，這兩大事件導致「逆全球化」成為新趨勢，各國紛紛強化自身的供應鏈的完整性，「自給經濟」趨勢越來越明顯，尤其受到中美貿易影響最深的中國大陸，近期更全力打造半導體基礎工業，汎銓科技作為半導體材料分析大廠，在此領域早已具備強大的技術能量，未來在中國大陸市場發展樂觀。

汎銓科技從2005年創業至今就專注於材料分析研發，掌握了半導體製程中，此領域最先進的技術，技術長陳榮欽博士指出，台積電掌握EUV(極紫外光微影)製程技術後，7nm+製程在去年底進入量產，未來5nm之後的製程中，EUV已成為必要製程設備及技術，不過他也表示，若以過去的材料分析技術，將難以因應此先進製程需求。

陳榮欽博士進一步指出，半導體材料分析結果要精準，前提是必須保持樣品原貌，因此在每一代微縮研發過程中，避免人為因素損壞樣品向來是重要工作。不過隨著製程進入7nm乃至5nm、3nm時代，此一工作越來越艱鉅。特別是在EUV光阻與low-k等關鍵材料，因材質特性脆弱，在使用電子顯微鏡觀察時，易因電子束的衝擊導致樣品變形或微結構崩塌，讓接下來的分析錯誤，甚至是無法進行。

對此汎銓科技獨立研發出ALD真空鍍膜技術，以真空技術為樣品鍍上適當厚度的薄膜，將樣品製備及電子顯微鏡觀察中的衝擊降到最低，不讓樣品因此變形，以利於後續的分析。原理看似簡單，不過要將技術達到可用性階段難度相當高，陳榮欽博士指出，微米、奈米體積的半導體材料非常敏感，ALD真空鍍膜過程中溫度掌控尤為重要，汎銓科技可在不損傷樣品的製程溫度下進行原子層鍍膜，由此可見其技術掌握度。

ALD真空鍍膜技術外，分析專業更是汎銓科技得以在此領域領先業界的關鍵，在長年深耕下，該公司已養成一批業界頂尖人才，營運長廖永順表示，專業人才是此一領域的最重要資產，因此2005年創立時，汎銓科技就以人性化管理與完善的升遷制度培養並留住人才，15年來，其人員流動率遠低於業界。

完整且專業的人才庫，讓汎銓科技得以順利擴展業務，近幾年該公司大幅擴張企業版圖，2018年成立南科分公司，2019年竹科與南京兩家子公司也分別成立，在技術與人才的優勢下，業績節節高升，而且由於汎銓科技的擴張雖快，但其腳步都是循序漸進，不會一次投入過多人力，其閒置產能非常有限，因此在這波疫情衝擊下，2020年上半的業績仍比去年同期增加30%。至於未來發展，他則看好中國大陸市場的潛力。

廖永順表示，在中美貿易戰影響下，中國大陸半導體產業近期開始從根做起，全力建構基礎工業，目前汎銓科技的中國大陸布局是採中央廚房方式，由南京子公司負責簡單案件的材料分析，較難的案件再透過當地的物流體系將產品送到汎銓材料分析本部。

柳紀綸最後指出，材料分析是半導體製程中的必要環節，從樣品製備到觀察分析，都需要極高深的專業知識，汎銓科技在南京的子公司已為中國大陸市場紮下第一步發展基礎，未來將從此點逐步擴大市場範圍，提供完善的材料分析服務。