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科林研發支援新一代邏輯和記憶體元件製造

  • 林佩瑩/台北

科林研發以創新技術,支援新一代邏輯和記憶體元件製

科林研發(Lam Research Corporation)是全球半導體製程設備的領導供應商之一,一直以來提供半導體晶圓生產客戶最先進的技術與全方位的服務,而深受合作夥伴的信賴。科林研發致力於推動創新,並透過優異的系統工程、技術開發、與客戶合作,持續不斷推出各種關鍵技術與優異的成本效益方案,協助客戶在製程開發與產能的擴充。

為克服半導體製程在微縮的持續挑戰,科林研發近來發表兩項重要技術,能以更低成本,支援新一代邏輯和記憶體元件的製造,並提供晶片製造商未來創新所需的先進功能和可擴展性。

首先,是全新發展的電漿蝕刻系統解決方案—Sense.i平台。它不但突破性地提升蝕刻製程的表現,並擁有革命性的空間效率可提高50%以上的單位空間產能,協助客戶同時達成最佳製程控制與最高生產效率。此外,該平台運用科林研發獨家的Equipment Intelligence技術,其自我感知能力可大量擷取和分析數據、辨識模式和趨勢,並確定改善措施。Sense.i平台還具有自主校準和維護功能,大幅減少維修與人事成本。其內建的機器學習演算法,使機台能夠自我調適,將製程變異降至最低,並將晶圓產能最大化。

另一項技術是應用於極紫外線(EUV)曝光的乾式光阻(Dry Resist)技術。隨著晶片製造業者開始引進EUV微影系統於先進製程,如何在曝光劑量、解析度、製程缺陷(邊緣粗糙度)中取得平衡一直是關鍵的挑戰。而科林研發此項技術將能提供一個突破性的解決方案,以更低的曝光劑量、達到更高的微影解析度,並同時降低製程缺陷。這項技術不但有機會解決先進微影成形上的挑戰,並可協助客戶節省可觀的生產成本,也同時為環境提供更具永續性的解決方案。

這兩項創新技術不但提供半導體製程與摩爾定律更好的創新解決方案,同時也展現科林研發將環境、健康與安全(EHS)的永續管理作為企業核心原則的理念。科林研發相信創新技術能促進美好生活的實現,但仍須確保未來環境的永續性。展望未來,科林研發會持續與全球客戶緊密合作,加速創新並繼續朝綠色製造和永續發展的方向努力。