思達推出下一代一體化Per-Pin SMU可靠度測試系统

參數與可靠度測試系統廠商思達科技，宣布推出冥王星Pluto系列測試系統，以滿足封裝級與晶圓級可靠度測試系統相關的測試需求。此款新的先進測試系統，涵蓋了包括HCI、BTI、OTF、TDDB以及EM等等的可靠度需求。作為下一代的解決方案，冥王星系列可提高量測的精準度和效率，符合工程和生產方面的雙重需要。

下一代冥王星系列是一體化的可靠度測試系統，提供了全球產業界二個等待已久的基本能力。首先是per-pin SMU的量測速度降至1微秒；其次是它完整的HCI、GOI和EM一體化可靠度測試驗證能力。最多960個的per-pin SMUs支援HCI/BTI可靠度測試，電晶體最多至480個，GOI最多達960個柵氧化層，和EM最多則是480個平行互連。這款新型又獨一無二的可靠度測試系統，超越了市場上所有競爭的可靠度系統，用最低測試成本獲得最高的測試性能。

此外，四個象限的per-pins SMU具有多量程電壓和電流源的量測能力，能夠在最短的測試時間內，用最高精準度量測奈米元件。配置獨立的per-pins SMU，使用者可以為內部需求創建訂制的測試演算法，同時支援未來可靠度驗證的測試。冥王星系列的SMU可支援HCI/BIT和GOI，應力電壓高達20V。測量每個通道的電流低至10pA。最高達400mA應力電流的奈米級精準度的EM(電子遷移)，具有微伏電壓量測精度，可用在電阻低至毫歐姆的奈米互連。

冥王星可靠度測試系統能連接至單獨控制的微型烤箱模組，用於封裝和模組級的不同溫度下測試的待測元件(DUT)。思達還擁有最好的多待測元件晶圓級探針台之一，在領先客戶中有數十個安裝基地，可以無縫整合冥王星per-pin測試儀器，形成下一代晶圓級低至3奈米的可靠度驗證。

思達科技執行長劉俊良博士表示：「長期以來，我們聽取了使用者對於per-pin SMU可靠度測試系統的意見。為了滿足這類需求，思達率先開發下一代冥王星per-pin SMU可靠度測試系統。它支援全範圍的奈米製程，以及元件可靠度驗證，充分的靈活度讓使用者可按照自己的需求，開發訂制測試的演算方法。這款一體化的可靠度開放平台測試系統的高產量和測試能力，將徹底改變可靠度測試產業，使用者可以在一個系統中，結合和匹配不同的可靠度測試。思達冥王星可靠度測試系統將大幅降低整體投資，所有半導體晶圓廠的產能規劃也能因此更為彈性。」