半導體專用奈米級精密直線傳動模組生產無塵室正式啟動

半導體專用奈米級精密直線傳動模組生產無塵室正式啟動。

東佑達自2000年進入自動化業界2020年已邁入第21年，近年來積極開發半導體製程需求核心技術之相對應產品。目前已將電動缸產品之生產組裝製程搬進無塵室進行組裝。目前是亞太唯一，將線性傳動模組搬進無塵室生產的傳動元件廠商。

台灣的半導體產業在國際上具有重要地位，但半導體儀器設備卻多仰賴國外進口，製程技術受國外設備商所箝制，機台價格昂貴且維修不易。東佑達為支持半導體設備業的在地自主化發展，特開發一系列針對無塵室專用的產品系列，包含小型電動缸、電動夾爪以及線性馬達模組等，可滿足Class 1-1000不等的無塵環境需求，且皆已取得SGS認證。

其中，線性馬達模組系列除了無塵的需求外，更可達到μ級精度，除了模組化販售可節省設計工時、採購工時、入料品檢工時、組裝工時等優點，模組商品化讓可靠度更佳，更是目前世界模組化同級產品體積最小的產品。全台製可縮短交期，讓設備業者可以快速導入。目前已有大量應用在半導體製程之實績。

東佑達集團董事長林宗德表示：為了符合半導體業界製程需求，東佑達率先將無塵系列產品搬進無塵室生產，讓客戶使用上更安心，為無塵環境需求的設備夥伴及終端客戶，提供更優質的無塵自動化元件產品選擇，協助台灣半導體設備供應鏈在地化發展。手機、面板等高科技IT產業無塵室也是服務的範圍對象。

東佑達無塵系列以及空氣軸承對位平台等產品已於「SEMICON Taiwan 2020台灣國際半導體展」展出，盼厚植本土直線傳動模組技術以迎接半導體設備自主化時代的來臨。