中國曝光機發展現況:EUV
- 林育中/專欄
中國工信部宣布DUV訊息的同時,上海微電子也發布其2023年申請的EUV專利、2024年9月專利申請公開的消息。
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林育中
現為DIGITIMES顧問,台灣量子電腦暨資訊科技協會常務監事。1988年獲物理學博士學位,任教於國立中央大學,後轉往科技產業發展。曾任茂德科技董事及副總、普天茂德科技總經理、康帝科技總經理等職位。曾於 Taiwan Semicon 任諮詢委員,主持黃光論壇。2001~2002年獲選為台灣半導體產業協會監事、監事長。
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