EUV微影技術推動 2019年光學子系統供應商表現突出
- 茅堍/綜合外電
儘管2019年全球半導體設備銷售額下滑10.5%,但由於主要晶圓製造業者為爭奪在先進製程市場中的領導地位,而積極採用極紫外光(EUV)微影技術,使得光學子系統(optical subsystem)供應業者營收逆勢成長,其中尤以蔡司(Zeiss)營收表現最為突出。
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