台積電、英特爾想拯救摩爾定律 EUV開創新奈米時代
- 蕭菁菁/綜合報導
隨著摩爾定律(Moore's Law)逐漸踩剎車,將更多電晶體堆疊在單一晶片困難度提高,晶片製造廠試圖尋找解決方案,其中極紫外光微影(EUV lithorgraphy)技術日益受到重視。
EUV技術能進一步縮小電晶體尺寸或提高密度,製造更便宜...
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