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EUV正式面世後仍將面臨諸多挑戰

  • 涂翠珊

2019年將有30台艾司摩爾(ASML)極紫外光微影(EUV)陸續出貨,這也代表這項歷時數十年、耗資數十億美元研發的技術,即將正式迎向舞台中央,然而稼動率(uptime)、瑕疵...

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