台積電首創乾式EUV光罩潔淨技術 改善效益達20億元
- 陳玉娟／新竹
台積電積極導入極紫外光(EUV)微影製程技術，協助客戶快速實現先進產品設計，為提升EUV良率並實踐綠色製造使命，研發「乾式EUV光罩潔淨技術」進一步取代傳統的沖洗流程，透過分析落塵、排除汙染源的方式，成功使機台內每1萬片晶圓曝片的落塵數從數百顆減少到個位顆...
會員登入
會員服務申請/試用
申請專線：
+886-02-87125398。
(週一至週五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(週一至週五工作日9:00~18:00)
關鍵字
