Lintec新CNT光罩護膜樣本出貨 與三井化學展開競爭
- 江仁傑／綜合報導
日本材料與設備廠Lintec製作的新型光罩護膜（Pellicle）樣品已開始出貨，專門針對極紫外光（EUV）製程，質料是奈米碳管（CNT），目標2025年量產。三井化學（Mitsui Chemicals）也將在1~2年內產線完工並投產。生成式AI（Genera...
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