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AMC暨環境與煙道氣體及PM 2.5成分創新分析技術

  • 李佳玲

日前2019國際半導體展會,志尚儀器受邀出席Semi主辦單位舉辦的創新技術發表會,發表「AMC 暨環境與煙道氣體及PM 2.5 成分創新分析技術探討」志尚儀器總經理楊玉山表示,在高科技廠房排放管道中有關酸鹼排(五酸一鹼)放氣體的線上偵測一直是個不容易解決的問題,志尚儀器在交大環工所蔡春進教授的指導下, 成功將原本使用在AMC領域的PPWD(濕式平行板氣液吸收器)用於排放管道中五酸一鹼的偵測,也可經由SDEP/PILS進行微粒中化學成份的分析。

此外更與蔡教授合作發展新型的排放管道PM2.5光學式線上連續監控系統, 針對高科技廠房中因為酸鹼氣體與高濕度造成光學系統的不準度設計特殊的前處理設備,更使用Beta-Gauge做雙重驗證確認數值準確度。

志尚儀器總經理楊玉山。

楊玉山指出,「在SEMI IRDS 2017 Roadmap中所建議半導體廠中偵測AMC的分析方法為PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等, 因此志尚儀器除了之前與國立交通大學蔡春進教授的所進行技術合作,並成功將蔡教授的Denuder技術進行商業化改良,並與ISO 17025實驗室結合,已經成功開發出新一代的AMC分析儀(PPWD-IC),該品項也榮獲國家玉山獎的肯定。」

近來志尚儀器更合作開發相關 PM2.5及氣膠微粒採樣設備,回收率可達95%以上,與之前的Denuder合體可以同時且有效的針對酸鹼排放管道氣體及PM2.5微粒樣品進行成分分析。

另外,也擴大與國外的技術交流,楊玉山說,志尚成功的開發出第三代的離子電泳分析儀(IMS),其設計除了捨棄傳統的化學Dopant外,也採用較低放射性的氚作為游離源,不僅可以偵測酸鹼兩種氣體,而且可以同時量測多種酸性氣體(HCl/Cl2/HF/H2S/SO2)。

此外最近也與國外技術合作發展光腔衰盪光譜技術(CRDS)可以同時量測高科技廠房內的Ammonia與HF及HCl等重要氣體。志尚儀器自1990年成立至今,已從一個單純氣體分析儀器代理商的角色,提升為氣體分析儀器製造商及系統統合商(Turn-Key Solution),現今又正式成立研發製造部門,正式踏足研發製造領域,如需進一步了解志尚儀器產品訊息,請上官網查詢。