中文简体版   English   星期三 ,9月 19日, 2018 (台北)
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亞泰半導體化學研磨液系統SEMICON創新技術發表

  • 張丹鳳

2018國際半導體展SEMICON Taiwan將於南港展覽館盛大展開,適逢積體電路IC發明60週年,以「IC 60大師論壇」作為慶祝台灣發展積體電路一甲子之盛事。回顧60年來半導體產業的熱情不斷在台灣發光,帶領產業邁向一個又一個新世代;其中,細線化和平坦化製程相輔相成,成為影響半導體世代精進的關鍵。

亞泰半導體以研磨液供應技術(Slurry Mixing and Dispense)的角度切入,以精準混料、穩定運作、可靠品質及安全系統運轉的方式,供給符合機械平坦化CMP製程要求的化學研磨液供應,20餘年來與半導體世代一同前進。

亞泰半導體Asia ICMP展會攤位K2960於一樓「高科技廠房設施主題專區」(High-Tech Facility Pavilion),將展出半導體液體輸送混料系統(Semiconductor processing liquid dispensing system)完整概念。

實體展出符合微型晶圓廠(minimal-fab principle)概念之新產品,包括線上滴定分析模組(In-line Titrator Metrology Module)及特殊流道設計之獨家分料閥箱(VMB, Valve Manifold Box)。

另有獨家設計製造產品,完全符合化學研磨液特性規劃之原液桶快速多管接頭(Dip Tube)、零死角組合閥(Block / Plug Valve)、脈波吸收Damper,及新型液體過濾器模組(Advanced Liquid Filtration Housing)。

並於開展首日9月5日中午12點20分,亞泰半導體將在展會四樓舞台L1008創新技術發表會(TechXPOT),主講「先進製程液體輸送系統SDS/CDS的全面進化模式」,由徐技術長分享,多年來亞泰與客戶一同世代精進、成長,一同前行的前瞻與價值開創。



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