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研磨液系統工程為平坦化後盾 隨IC60榮耀精進

  • 張丹鳳

亞泰半導體參展SEMICON Taiwan,左為徐宏信技術長,右為劉美鳳總經理

為慶賀半導體積體電路在台灣發展一甲子,於國際半導體展 SEMICON Taiwan 展期前後舉辦IC 60一系列大師論壇及技術研討活動。在60年間,台灣孕育了許多半導體供應鏈技術支援廠商,見證各個製程世代精進的榮景並發展許多世界級的晶圓廠運作成功關鍵。

其中,半導體研磨液供應及混料系統 (Slurry Dispensing System;SDS) 作為晶圓平坦化所需的研磨液廠務支援系統,負責研磨液的乘載、調配、混和、運輸及保存,以確保其研磨液中的顆粒分佈樣態及漿料液體的整體條件符合製程需求。

研磨液供料系統包含入料作業區的液體入料作業及儲存設備、附屬廠房區 (Sub-Fab) 的混合及供料設備、晶圓製造區 (Fab) 的分料系統,及串聯各作業區的系統工程。為提供最適化的整體系統運作,系統工程廠商需層層挖掘晶圓廠的需求並逐一完善。

由於研磨液的輸送講究的工藝內涵較一般化學液體運輸複雜,在作業環境需考量濕度、降低死角的流道設計、縝密的通訊連結等等;研磨液體的品質控管更是須因應各種類別的研磨液進行最適化調整。因此,亞泰半導體設備 (Asia ICMP) 作為研磨液供料系統的整體方案提供者,多年來專注於仔細聆聽客戶的聲音,發掘並完全理解客戶的需求,以找出適合各個客戶的可實行方案,創造出適合不同客戶的差異性優勢系統。

亞泰半導體的徐宏信技術長表示,為體現不同客戶的製程價值,亞泰提供的全方位方案不僅止於供料設備及系統工程的對接,更囊括市面上具競爭力的品質分析儀器,整合成為系統管理的優勢方案,並研發自製專屬於研磨液使用的功能模組,包括近期推出符合自動化及無人化的安全入料作業,皆為提前一步替客戶著想,確保產業鏈能共同面對快速進展及變化的需求。

為符合快速回應及精準服務的主軸,亞泰半導體有自主研發閥件及供料零組件能力,並於廠內具備電腦車床CNC設備,以非制式的客製化產品,為客戶解決問題並創造價值。亞泰半導體劉美鳳總經理表示,亞泰走過二十餘年堅持走出不一樣的路,提供快速回應的客製化系統,每一套機台都是獨一無二,唯有優勢方案不斷傳承進化,此為該公司的解決方案魅力所在。

並表示,亞泰曾提出許多大膽嘗新的改善計畫,有幸受到客戶的青睞,願意共同創新,才能累積領先業界的卓越實績。預防勝於補救,無論在成本面或技術精進面皆為如此。因此,如何透過確認客戶的疑慮,提出創新方案,並積極實驗確效,是身為半導體供應鏈一份子的自覺,也是亞泰供應系統全方位解決方案專家的自我要求。唯有由大處著眼,小處著手,找尋差異化的優勢,才能創造產品、客戶及產業供應鏈的三贏局面。



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