聯華林德與宇川精密材料共同開發新半導體材料

聯華氣體工業股份有限公司(聯華林德)宣布將與半導體先驅物質首屈一指的供應商宇川精密材料股份有限公司(宇川精密)合作，預計在未來兩年投資總計新台幣9,000萬元在台南廠區共同開發三甲矽烷基胺(Trisilylamine；TSA)生產設備及產線，預計每年生產產能可達3.6噸，計劃於2020年第3季投產。

新型的TSA生產設備將採用最尖端的製程，並搭配先進的安全及分析基礎設施。考量供應鏈的應變計畫，生產廠區策略性的選在對TSA需求與日俱增的亞洲市場。

TSA主要用於在先進邏輯技術節點及3D NAND位元線主要氧化物填充，它使用FCVD機台來將矽電介質沉積到淺溝槽隔離技術(STI)中。由於3D NAND在存儲層中的堆疊層成長，從而增加了存儲孔的高度，因此TSA的使用正在成長。

聯華林德和宇川精密科技結合雙方在化學、製程技術及先進分析上加起來超過30年的經驗，攜手開發TSA並預計在2020年第3季量產。聯華林德將獨家代理此產品的銷售，並將其納入Spectra EM品牌系列，率先以亞洲市場出發，陸續為全球半導體產業的客戶提供服務。

在雙方正式宣布合作後，聯華林德總經理唐靜洲先生表示：「我非常榮幸宣布這項新投資，這是本公司對在地生產特殊氣體承諾的持續實現。伴隨聯華林德 Spectra EM 產品組合，這項投資更能穩定供應我們在台灣、中國大陸及亞洲的電子業客戶的需求。」

關於聯華林德

聯華林德是聯華實業股份公司和林德集團共同成立的合資公司，也是台灣最大的工業氣體製造商。透過與林德集團的密切合作，聯華林德能夠提供各種高品質的氣體和氣體應用技術。此外，為了因應市場的快速成長，聯華林德持續投入鉅資於高效氣體生產設備。

關於宇川精密材料

PentaPro精密材料位於台南科學園區，是三五族半導體，太陽能，射頻，光通訊，顯示器和其他半導體產業的專業有機金屬提供商。PentaPro精密材料致力於開發應用於新興半導體ALD和CVD設備的各種高純度前驅體，並且以整合本地材料產業以及智能化學家的資源為目標，以滿足7奈米以下的多樣化需求。