至純集團成功導入NTT DATA之 EXC-MES進行數位化生產
- 李佳玲／台北
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高新技術企業上海至純科技新建的「合肥至微微电子有限公司」(以下簡稱至微)，已於近日投產。此為中國首座12英吋晶圓再生廠，由NTT DATA成功導入MES製造執行系統，數位化管理整個生產過程，涵括生產進度、製程、品質、耗材、設備、載具、警報管理等，並導入製造決策平台，使至微能滿足高階晶圓客戶的嚴格要求。
著眼於國家正全力發展半導體產業，至純科技2020年決定投資10億元人民幣(一期)，在半導體企業集聚的合肥市成立「合肥至微微电子」公司，興建晶圓再生和半導體零組件再生廠，未來年產能將達168萬片晶圓再生和120萬件半導體零組件再生。而晶圓再生是重要焦點，它以滿足14奈米晶圓廠再生晶圓為設計基礎，是中國半導體高階市場首條投產的12英吋晶圓再生產線。
為了高效管理晶圓再生製程及滿足客戶嚴格的要求，至純科技決定委託NTT DATA為該廠導入MES系統。NTT DATA 的MES產品EXC-MES，首先能同時以個別wafer ID/Lot ID/Carrier ID等三個層次，貫穿整個晶圓再生的製造管理；其次完整提供晶圓再生所需的各項功能模組。例如：品質模組能解析機台拋送出來的檢測資料，進行合規及SPC管制，並進行不良品處理。
而在物料模組，可提供物料批的領退料，工單發放自動扣料；在設備管理方面，除了提供預防保養、維修等管理功能外，對於設備運行狀態的監視，也精細到設備Port(埠)及Chamber(室)；並可計算及監管設備上材料的耗用；而在包裝上，則能依照客戶要求的成品多維度分等標準，進行複雜的自動分等。
MES也大幅提高了產線狀況的透明度和傳送速度。NTT DATA一方面運用製造決策平台，將至微各管理階層所需資訊以戰情看板和管理報表呈現。另一方面則提供警報系統，對於重大異常或提醒事件，透過E-mail、系統推播等信息發送給相關人員，加速事件的處理。
晶圓再生製程是通過去除控擋片晶圓表面的雜質和缺陷，使處理後的晶圓達到新片的標準，實現循環再利用，進而為企業節約大量成本。這次NTT DATA能為至微晶圓再生廠成功導入MES，一方面是至微各主管在過程中的全力支持，另一方面則是NTT DATA的產品EXC-MES能提供貼近產業需求的完整功能，並且擁有深刻瞭解產業製程的專業顧問，與至微主管深入討論最合適的解決方案。
2017年在上海證交所上市的至純科技，20餘年來致力於為高階製造業企業提供高純工藝系統的解決方案，廣泛應用於半導體、微電子、生物醫藥、太陽能、TFT-LCD、LED等領域。另外至純科技也致力推廣濕法清洗設備及服務，是中國該領域的領先者，能提供8/12寸的單片與槽式的各種濕法製程設備，工藝能力可達到14nm的規格，已有數十台的裝機量。
據瞭解，目前合肥至微的晶圓再生產能基本已被客戶全數預定，除了合肥當地的長鑫、晶合，也包含週邊的無錫、南京、武漢、上海等地的晶圓廠。這些企業之前大多送到日本、台灣地區進行晶圓再生，目前能在合肥進行晶圓再生，預計可為客戶節省30%的成本。
