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半導體高科技廠房設施 最適化研磨液供應系統

  • 張丹鳳

近年來半導體產業紛紛重視工業4.0的發展,盼透過大數據(Big Data)整合與人工智慧(AI)的加值,帶動晶圓廠設施系統更添自動化與智慧化,有助於製程掌控、產品精進發展及環境安全多管齊下,使高科技廠房設施進化至下一世代。

廠房設施項目眾多,舉凡包括水、電、氣、化、環安等構面;其中,研磨液輸送系統(Slurry Dispensing/ Distribution System;SDS)為供應平坦化製程中供給研磨液的廠房設施,以供應符合製程需求的研磨材料,確保機械平坦化(CMP)製程穩定性及品質優化。

亞泰半導體設備以獨家混料攪拌專利技術,為客戶打造客製SDS研磨液輸送系統。

為符合廠務系統智慧化的期待,高科廠房的液體輸送系統,需在輸送程序中的混料、保存、供應等階段,確保研磨液或化學液體的品質與來料相當,且以系統化穩定控制。即便化學研磨液已經過長時間及長距離的輸送,供給製程端使用時,皆能符合來料廠商出廠時的品質,達成製程最適化。

為提供超越客戶期待的服務,亞泰半導體設備以累積20餘年中央研磨液輸送系統(Central SDS)海內外建廠經驗,整合優勢方案以強化輸送系統監測控制能力,提供晶圓廠一個品質監控智慧化液體輸送設施選擇。

SEMICON Taiwan台灣國際半導體展,將於9月5日南港展覽館登場,其中「高科技廠房設施主題專區」(High Tech Facility Pavilion)包含跨國廠商亮相更多符合智慧化廠務系統相關服務。專區內包含亞泰半導體設備(AsiaICMP),於一樓舞台旁K2960攤位展出,分享研磨液輸送混料系統如何回應半導體先進製程與智慧化工業4.0之要求。