宜特推出液態材料缺陷檢測服務

液態樣品專用SEM載台示意圖。

在半導體晶圓生產-黃光蝕刻、薄膜等多道製程中，或太陽能、LED晶片等電子產品等製造，都有機會因使用到液體、揮發性材料造成缺陷的問題，宜特推出液態材料缺陷檢測服務，將有助於相關業者分析液態材質缺陷。

宜特表示，針對一般樣品，會使用掃描式電子顯微鏡SEM(Scanning Electron Microscope)進行樣品表面形貌的檢測。然而樣品必須於真空系統下作業，並且樣品侷限在固體。而對於液態、揮發性材料，此類樣品會影響電子顯微鏡的真空度，並可能造成腔體汙染，因此以往若要使用SEM進行檢測，相對困難。

宜特進一步指出，一般而言的變通作法，是將液態、揮發性材料烘烤後，變成固態，再將固態樣品利用SEM進行檢測，但往往經過烘烤後的樣品形貌均已失真，例如液態材料內之粒子(Particle)分布與分散性，這些特性於材料經烘烤後均已改變，便無法觀察到液態材料之真實樣貌。

藉此，宜特特別引進液態材料專用之SEM載台，將可解決此難題。宜特表示，SEM液態載台是封閉式結構，可以將液態、揮發性材料封閉其中，故可避免影響SEM的真空度與真空系統汙染等問題。SEM電子顯微鏡透過載台表面厚度僅數十奈米之氮化矽SiN薄膜，仍可以激發出液態樣品表面之二次電子或背向電子，藉此可以順利成像。

此外，若搭配另一工具-EDS(Energy Dispersive Spectroscopy)，即可進行成分分析，除此之外，SEM影像可透過專用軟體進行分析，即可得到尺寸分布、分散性、形狀分布等數據資料，以作為材料研發或製程改善、監控的依據。