資騰科技於Semicon China 2024 展現ESG創新力 推出優化半導體製程產品 智慧應用 影音
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資騰科技於Semicon China 2024 展現ESG創新力 推出優化半導體製程產品

  • 張丹鳳台北

佳世達集團羅昇企業旗下資騰科技(Standard Technology Corporation)參加Semicon China 2024展覽,展示多項協助優化半導體製程的創新產品,如超潔淨金屬氣體過濾器、超高精度光阻塗佈泵等。

資騰科技總經理陳國榮表示,因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求,2024年資騰科技將展示一系列針對半導體製造產業的創新產品,旨在提高製程效率、減少環境負荷,並支援產業的永續發展。以下是其中幾項亮點產品:

超潔淨金屬氣體過濾器:次世代奈米工廠必備,金屬燒結微米級不鏽鋼(SUS 316L)短纖維製成薄層金屬膜過濾器,皺褶狀設計增加過濾面積。Load lock chamber排氣過濾而設,縮短排氣時間,提高機台5~8%的稼動率。

超高精度光阻塗佈泵:適用於半導體黃光製程光阻塗佈,以及其他需要精準控制藥液噴吐量的應用場景,幾乎零藥液浪費,可與半導體設備(如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等)匹配使用。提供氣缸式和馬達式控制,穩定性高且壽命長,資騰提供在地即時服務支援。

非接觸型渦漩式吸筆: 資騰自主研發,利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學元件,避免晶圓或是光學元件表面刮傷,提高晶圓傳送效率和穩定性。具有客製化和價格優勢,目前已有SiC與光學元件廠客戶銷售實績。

資騰充分考量中國市場特性和全球趨勢,針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠、設備本土化等領域提出不同的解決方案,通過強大的產業實踐經驗和技術能力,與合作夥伴們攜手,共同促進半導體產業的創新未來。