政府支持台廠自研ALE設備 為擺脫海外業者控制第一步
- 莊衍松／台北
原子層蝕刻(ALE)設備為5奈米以下半導體元件，如量子點、奈米線、二維材料等元件所需重要製程設備。台積電為聚焦於下世代行動運算、雲端AI高效能運算、自動駕駛及物聯網等科技，需以原子層蝕刻進行相關製程。由於前段設備由海外廠商寡佔，台灣廠商沒有能力提供，因此政府支...
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