三星將自主開發EUV光罩護膜
- 杜振宇／綜合外電
三星電子(Samsung Electronics)已掌握透光率82%的極紫外光(EUV)製程用光罩護膜(pellicle)技術，目標為2021年底提升至88%。EUV光罩護膜有ASML、三井化學(Mitsui Chemicals)、S&S Tech、FST等業者跨足...
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