中國曝光機燃眉之急 浸潤式卡關、先進製程走不通
- 梁燕蕙／綜合報導
微影設備曝光機由數萬個零組件構成，可說是供應鏈各環節頂尖公司通力合作的成果。曝光機製造難度很高，以一台ASML EUV曝光機為例，由來自全球近800家供應商的多個模組和數十萬個零件組成，每個模組在ASML遍佈全球的工廠中生產，再運往荷蘭總部組裝。
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