為了提供更好的閱讀內容,我們使用cookies來改善使用者體驗,關於更多cookies資訊請閱讀我們的隱私權聲明
中文简体版   English   星期一 ,12月 10日, 2018 (台北)
登入  申請試用  MY DIGITIMES153
 
epson
socionext

光罩載具

  • 鄭茜文

光罩載具分為光罩盒(Mask Package)以及光罩傳送盒(Reticle SMIF Pod),光罩盒為光罩最基本保護裝置,該產品通常以低氣度逸散(outgassing)塑膠材料為主,如ABS、PMMA、Polycarbonate等,這些材質可降低霧化(Haze)及靜電防護(ESD)發生,高端光罩和則使用不袗材質,其防護效果更佳,當光罩製作完畢後,除使用期間外,無論是搬移或保存,都需全程放置在光罩盒內以確保光罩潔淨度。光罩盒需求與新的光罩產量同步,也就是說跟新款晶片開發量有密切關係。

光罩傳送盒則是依據隔離進出料標準機械介面技術(Standard Mechanical Interface)所設計開發,光罩傳送盒半導體黃光製程中,透過自動化搬運設備移動光罩之用,當傳送移動時閘蓋完全密合以保持內務高度潔淨,當光罩使用時則嵌入曝光機台,打開閘蓋取出光罩進行作業,由於光罩並不與外界空氣接觸,因而晶圓廠可以大幅減少高潔淨度無塵室面積,以及潔淨氣體供應設備投資。(鄭茜文)



>