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360°科技:塗佈(Coating)

  • 林芬卉

在一般彩色濾光片(Color Filter;CF)製程,大致可分為以下工序,為黑色矩陣(Black Matrix)製作、光阻塗佈、曝光、顯影、蝕刻、ITO薄膜濺鍍等,因CF由R、G、B 3色所組成,因此,要形成CF上方3色子畫素,相關工序需重覆3次,故傳統CF製程數(相較噴墨印刷新製程而言),總共需21道步驟。

所以塗佈(Coating),主要是CF製程當中的主要工序之一,CF良率好壞,與光阻劑被塗佈的平整度、均一度等皆有密切關聯。(林芬卉)相關報導見頭版