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志聖高亮度LED製程PSS TURN KEY方案 業界最快生產速度 最具競爭力的解決方案

  • 張琳一

志聖擁有電漿核心技術超過10年以上,不斷在技術上創新突破,針對LED產業製程設備,推出PSS Turn Key方案(圖案化藍寶石基板製程),可讓LED再增加30%以上的亮度,提供晶粒廠客戶最完整的製程設備,更佳的光阻蝕刻選擇比、更快的生產速度及最低的單位成本,並可依客戶需求調整最佳製程,為LED產業提供最強的競爭力,志聖將於SEMICON Taiwan 2010展覽攤位2831,展示製程的「圖案化藍寶石基板製程解決方案」(PSS Turn Key Solution)。

志聖為因應業界需求,提供最佳的PSS Turn Key Solution(圖案化藍寶石基板製程),製程包括以藍寶石基板作光阻與曝光顯影及蝕刻…等(黃光室製程+蝕刻的製程),並以藍寶石基板尺寸主流2吋及4吋的製程設備,採用先進的乾蝕刻製程設備(氣態電漿反應),不會產生液態製程所產生的汙染狀況,客戶包含如中美晶、合晶、晶電、璨圓、泰谷、新世紀…等廠商皆可使用。

志聖PSS TURNKEY SOLUTION。

志聖提供的PSS Turn Key Solution,最大優勢在於一次到位的圖案化蝕刻黃光製程,並可提供依客戶需求而調整客製化最佳操作製程,可以讓MOCVD的製程順利進行,避免客戶在單一機台拼裝購買時,無法完整串聯調整製程的問題,或是產品不良時,不知如何做調整製程。

更讓人驚艷的是,志聖採用的ALIGNER曝光機比一般業界的stepper曝光機速度要快上3倍,機台成本卻只要1/3價,在黃光工段的成本單位成本是同業的1/9,讓廠商競爭力馬上提升,此外,志聖的plasma蝕刻精度與世界大廠同級,達到1,500 A/min,保障產品品質達世界級水準。對蝕刻的能力,志聖的光阻蝕刻選擇比大於0.9(一般業界只達到0.5~0.6),蝕刻深度亦超過1.7μm,高於業界要求1μm,保障LED在後段製程可以達到更高的亮度水準。

志聖工業新竹分公司專注於SEMI、PV、LED…等產業設備研發製造及服務,產品包括電漿設備、高精度烤箱、AMHS…等,針對電漿的產品,志聖銷售客戶包括晶遠、光磊、奇力、敦南、矽品、光寶、晶電、太陽谷、江西瑞晶….等數十家知名客戶。

志聖工業成立於1966年,自公司草創時從事生產儀器烤箱,專精研發生產製程設備,設備適用於PCB、FPD、SEMI、PV、PRINT…產業。志聖致力於產業製程設備Total Solution為目標,40多年來在「光、熱及系統整合」建立起企業的核心技術,超越同業技術甚多。志聖以領先與精密的技術能力提供滿足客戶需求的機器設備,同時因為與領導性廠商的長期合作,可應客戶需求設計高客製化機種,讓志聖的客戶在市場上擁有極佳競爭優勢。