結晶矽太陽能多晶矽料源主要來自於早期生產半導體級多晶矽的業者，這些業者多採用技術成熟但成本較高的西門子法(Siemens process)來生產，由於多晶矽生產的技術門檻與資本高，加上半導體產業成長穩定，過去全球僅7家業者投入生產，技術也較為封閉。
然而，隨著多晶矽缺料問題浮現，加上產業發展終將以更低價的料源才能達到太陽光電與市電等價(Grid Parity)的目標，太陽能所需多晶矽純度達6N即可滿足太陽能電池需求，除西門子法外，其他各種宣稱可達太陽能級的多晶矽製程如雨後春筍般出現。
本文將分析業界投入的太陽能級多晶矽製程技術，除已成功量產的技術外，也針對研發或試產中的技
